| 真空泵浦型號維修包 | ||||||
| IWATA 型號 | ISP-50 | ISP-90 | ISP-250 | ISP-500C | ISP-1000C | |
| ULVAC 型號 | DIS-90 | DIS-251 | DIS-501 | |||
| EDWARDS 型號 | ESDP-12 | ESDP30 GVSP-30 |
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| LEYBOLD 型號 | SC5D | SC15D | SC30D | SC60D | ||
| Varian-Agilent 型號 | DS-300 | DS-600 | ||||
| IWATA 型號 | DVSL-100 | DVSL-500C | ||||
| ULVAC 型號 | DISL-101 | DISL-502 | ||||
